• 加速度センサ・ジャイロ
• 耐環境センシング
• 光スキャナ
• 超並列電子線描画装置
• 極紫外光源用フィルタ
• 集積化MEMS
• 製作技術

• 微小電気機械システム(MEMS)
• マイクロシステム
• 産学連携

MEMS（micro electro mechanical systems）はマイクロシステムとも呼ばれ、⼊出⼒のインターフェースなどに広く利⽤されています。研究室では、スマートホンなどに用いる加速度センサやジャイロ、自動車用の耐環境センサや光スキャナ、微細加工のツールとしての極紫外(EUV)光源用フィルタや超並列電子線描画装置に用いるアクティブマトリクス電子源アレイ、これらの基礎となる集積化MEMSや製作技術などを研究しています。
この他、企業のための共同研究、技術⽀援、研究施設の公開利用、および国際連携にも⼒を⼊れています。